自从1962年半导体金属氧化物陶瓷气体传感器问世以来，半导体气体传感器已经成为当今应用zui普遍、*的一类气体传感器。它具有成本低廉、制造简单、灵敏度高、响应速度快、寿命长、对敏感低和电路简单等优点。不足之处是必须在高温下工作、对气体或气味的选择性差、元件参数分散、稳定性不理想、功率高等方面。

目前按照气敏特性来分，主要分为：半导体型、电化学型、固体电解质型、接触燃烧型、光化学型等气体传感器，又以前两种zui为普遍。

我国这些年工业发展迅速，种类逐渐齐全，而物位测量仪表作为工业生产*的重要仪表，需求量很大。巨大市吸引力也造成了激烈的竞争。虽然目前国内物位仪表生产厂家众多，但大多是技术含量较低、精度比较低的产品，即便销量可观，经济效益也不可观。怎样的产品才能有效的占领国内物位仪表市场呢，关键在于开发和生产，的产品。根据有关机构的调查显示，在物位测量装置的选购标准中，zui受人们关注的因素依次是：精度，可靠性，耐久性，操作简易度，价格，等。很明显，精度是人们关心的首要参数。而很多市场预测也验证...

（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0...

质量流量控制器（MFC）中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于zui低值（0.1MPa），有可能控制达不到满量程值;若高于zui高值（0.3MPa），有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳...